一般真空設備零件所粘附的油脂分為動植物、油礦物油兩大類。

　　動植物油可用堿溶液化學去除;礦物油可用有機溶劑去除。

　　但很多時候兩種油脂經常會同時存在，因此在清洗過程中往往需要先後采用數種不同的溶劑。

　　(1)堿液去油

　　當零件浸入堿液時，由於堿液與油脂的化學作用可使動植物油(即可皂化油脂)轉化為脂肪酸鹽類(皂化作用)，這些鹽類能溶解於水，從而能使零件除去油脂。以氫氧化鈉為例，反應方程式如下：

　　( C17H35COO)3C3H5+NaOH=C3Hs( OH)3+Cl7H35COONa

　　硬脂酸酯 氫氧化鈉 甘油 硬脂酸鈉(肥皂)

　　礦物油與氫氧化鈉不起反應，但在一定的條件下(例如在堿溶液中加入少量的肥皂)可使油膜遭到破壞，形成很小的油滴，懸浮在溶液中(即乳化作用)，達到部分去油的目的。

　　常用的堿液有氫氧化鈉( NaOH)、氫氧化鉀(KOH)(濃度50g/L～100g/L)、碳酸鈉(Na2C0)及碳酸鉀(K2C03)(濃度100g/L～150g/L)。

　　去油時加熱到70℃～80℃，可加速去油過程。此外也可用碳酸鈉(Na2CO)、磷酸鈉(Na3P04)、矽酸鈉(Na2Si04)及氰化鈉(NaCN)的混合物溶液進行去油。

　　金屬零件從去油溶液中取出後應立即在溫水中徹底清洗，然後再用冷水清洗。若金屬表麵不被水濕潤(有水滴)即表示油汙尚未除盡，應再次進行處理。

　　目前已普遍采用合成洗淨劑去油(如海鷗洗淨劑)。用合成洗淨劑與水以1:9比例配成溶液，將待去油零件放入沸騰溶液中，煮lOmin—15min(或用超聲波振動20min～30min)，可獲得良好的去油效果。

　　(2)有機溶劑去油

　　有機溶劑能夠溶解礦物油和動植物油，通常可與堿液去油配合使用。常用有機溶劑有三氯乙烯、四氯化碳、丙酮、汽油、乙醚等。

　　三氯乙烯不燃燒，比汽油安全，它能很好地溶解礦物油、石蠟、樹脂、橡膠等。其缺點是加熱時(125℃以上)容易分解出氯化氫、氯氣和一氧化碳等有毒氣體。

　　此外三氯乙烯不能直接用火焰加熱，如與火焰接觸會分解出非常有毒的光氣;光照亦會加速分解，因此儲放三氯乙烯時要采用暗色玻璃瓶;濕空氣、酸和鋁與三氯乙烯接觸時也能促使三氯乙烯分解，因此零件上若有酸性物質時應經過中和，而沾水零件必須烘幹後再用三氯乙烯清洗。

　　鋁零件和堿金屬、堿土金屬零件不能用三氯乙烯清洗。零件用三氯乙烯清洗後可在去離子水中清洗，最後用無水乙醇脫水，再用溫度為70℃-80℃的烘箱烘幹。

　　四氯化碳幾乎不溶於水，但溶解於乙醇及其它有機溶劑。有毒。

　　丙酮是易燃的有機熔劑，使用時需注意安全。它的去油能力較強，能和水及乙醇以任意比例混合。零件經丙酮去油後，應再用無水乙醇浸洗，然後烘幹。

　　汽油易燃燒，使用時必須注意安全。它可用來清洗不耐堿的零件，如鋁等。通常使用的汽油為含雜質少的航空汽油。

　　甲醇可以和水以及其它溶劑很好地混合，它的沸點低，易揮發，所以零件清洗後可用它來進行二次清洗、脫水和加速幹燥。

　　乙醇可與水及其它溶劑很好地混合，用於零件的二次清洗、脫水和加速幹燥。通常使用無水乙醇。

　　乙醚能很好地溶解油脂和其它有機化合物。它的沸點很低，極易揮發，但難溶於水，其蒸氣進入機械泵後很難被抽走。

　　水是各種無機物和其它物質的良好溶劑。由於自來水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱後的自來水進行清洗。

　　當要求較高時，可采用蒸餾水或去離子水。通常用流動的熱水清洗電鍍後和用酸、堿腐蝕後的零件。

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