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氮化鈦塗層是自PVD技術發明以來,最常見的一種塗層,具有較高的性價比,也是之前運用的最廣泛的一種PVD塗層,它具有較高的薄膜硬度。
用磁控濺射方法沉積的氮化鈦沉積速度慢,表麵顆粒小所以表麵光滑,而且液滴等表麵缺限少,但是表麵硬度較低。
用磁控陰極弧的方法沉積的氮化鈦,沉積速度快,但表麵顆粒大,所以表麵光潔度較差,液滴等表麵缺陷也較多,但是可以獲得較高的表麵硬度。
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