電子束蒸發源是利用熱陰極發射電子在電場作用下成為高能量密度的電子束直接轟擊到鍍料上。動能轉化為熱能，使鍍料加熱汽化，完成蒸發鍍膜。

　　電子束蒸發鍍膜機的優點：

　　1、電子束加熱比電阻加熱具有更高的通量密度，可以蒸發高熔點材料，如W、Mo、Al2O3等，並可得到較高的蒸發速率;

　　2、被蒸發材料置於水冷銅坩堝內，真空蒸發鍍膜機可避免坩堝材料汙染，可製備高純薄膜;

　　3、電子束蒸發粒子動能大，有利於獲得致密、結合力好的膜層。

　　電子束蒸發鍍膜機的缺點：

　　1、結構較複雜，設備價格較貴;

　　2、若蒸發源附近的蒸氣密度高，電子束流和蒸氣粒子之間會發生相互作用，電子的通量將散失和軌道偏移;同時引起蒸氣和殘餘氣體的激發和電離，會影響膜層質量。

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